徐承章，胡跃辉，陈义川，胡克艳，范建斌，郭胜利
（景德镇陶瓷大学机械电子工程学院，江西 景德镇 333403）

摘 要：在室温条件下，通过射频磁控溅射法在柔性衬底PET上制备ZnO:Ga(GZO)透明导电薄膜。主要研究了溅射功率对薄膜结构、内应力、光学和电学性能的影响，并对样品进行了相关测试。XRD测试表明GZO薄膜具有六角纤维矿结构的同时具有良好的C轴择优取向生长，但是衍射角出现明显偏移，表明薄膜内部存在较大应力；SEM测试显示薄膜表面晶粒具有良好的均匀均性和致密性，随着溅射功率增加，晶粒尺寸按照一定规律变化。薄膜的平均透过率在85%左右，电阻率最低达到7.1×10-3 Ω·cm。
关键词：ZnO薄膜；聚对苯二甲酸乙二酯(PET)；溅射功率；内应力