龚江宏

(清华大学 新型陶瓷与精细工艺国家重点实验室，北京100084)

摘  要：纳米压痕技术已经被广泛地用于在纳米尺度上评价材料的力学性能，而建立于1992年的经典Oliver-Pharr (OP) 方法则是分析纳米压痕实验数据的最常用方法。本文详细介绍了OP方法的理论基础及其数据处理技术，并结合纳米压痕技术在陶瓷材料弹性模量及硬度测试中的应用，对影响OP方法测试精度及测试可靠性的各种可能因素进行了分析。

关键词：纳米压痕；弹性模量；硬度；接触力学；数据分析；陶瓷材料