皮陈炳¹，蔡雪贤¹，高庆庆¹，张忠健²，肖 超¹，尚福亮¹，杨海涛¹

(1.深圳大学材料学院，深圳市特种功能材料重点实验室，深圳陶瓷制备先进技术工程实验室，广东 深圳 518060;2.株洲硬质合金集团有限公司，硬质合金国家重点实验室，湖南 株洲412000)

摘 要：采用传统的常压固相烧结方法制备了Li₃PO₄陶瓷靶材，研究了烧结温度对Li₃PO₄陶瓷靶材的微观结构力学性能、致密度的影响。通过XRD测定靶材相的结构，SEM观察靶材的断面形貌，万能实验机测量靶材的抗弯强度，维氏显微硬度仪测量靶材的维氏硬度，阿基米德排水法测量靶材密度等对Li₃PO₄靶材的性能进行了分析表征。结果表明：其各项力学性能均达到了一个很高的水平，靶材的最佳烧结温度为800 ℃，抗弯强度为76.16 Mpa，维氏硬度为475.87HV0.3，相对密度为98.89%；而XRD数据则表明靶材物相单一且结晶性良好。

关键词：粉末冶金；材料加工；磷酸锂；陶瓷靶材；烧结；电解质薄膜