冯金垣, 郝延华
（华南理工大学物理科学与技术学院，广州：510641）
摘 要: 采用磁控射频溅射的方法，在玻璃基片上制备 SnO2 及其掺杂薄膜。采用AFM 和XRD 分析薄膜的表面形貌与结构，对掺 Cu的SnO2薄膜在常温丙酮气氛作用下，用 UV 分光光度计进行了气敏光学特性测试，研究结果表明：薄膜在常温下对丙酮气体具有明显的敏感效应，其反射率在可见光范围的某些波段有 20％的变化。
关键词: 磁控射频溅射，SnO2，丙酮气氛，反射率