林 伟 1, 2, 3, 黄世震 1, 2, 3 , 陈文哲 1
（1.福州大学材料科学与工程学院，福州 350002；2.福州大学物理与信息工程学院，福州 350002； 3.福建省微电子集成电路重点实验室，福州 350002）
摘 要: 采用磁控溅射的方法制备薄膜型碳纳米管 SnO2 气敏元件，通过对气敏元件在不同气体中的响应进行分析，以及对气敏元件进行SEM 和XRD 实验，研究碳纳米管 SnO2 材料的气敏性能。实验表明：磁控溅射碳纳米管SnO2气敏元件对NO2气体有很高的灵敏度，对其他气体不敏感。
关键词: 磁控溅射，碳纳米管，SnO2，气敏元件，NO2