付勇敢1，蒋友福1，张昕飞2，林盼盼2，芦伟1，汪卫华1
(1. 安徽大学 物质科学与信息技术研究院，安徽 合肥 230000；2. 哈尔滨工业大学 材料科学与工程学院，黑龙江 哈尔滨 150000)
摘 要：AlN陶瓷常用作高功率微波窗材料，为了实现AlN陶瓷与铜基底的有效连接，选用自行配置的Ag-28Cu-3Ti三元活性钎料进行钎焊实验，并且对钎焊后的样品进行无损检测、气密性检测、微观形貌表征、介电性能表征以及力学性能表征。结果表明，焊接样品无明显虚焊、裂纹、气泡等，氦漏率为3.76×10–8Pa·m3·s−1；微观表征显示钎焊接头界面组成为AlN/TiN/CuTi/Cu+Ag/Cu，且发现了Ti元素的局部偏析。钎焊后，微波窗的介电性能和介电损耗均满足要求，综合介电损耗和驻波系数的测试结果，其最佳使用频率为98.8GHz～108.0GHz。并且AlN封接件平均抗剪切强度为185.7MPa，满足强度要求。
关键词：钎焊密封；AlN；驻波系数；介质损耗；准光腔