李辰冉¹，谢志鹏^1,2，赵 林¹
(1. 景德镇陶瓷大学 材料科学与工程学院，江西 景德镇 333403；2. 清华大学 材料学院新型陶瓷与精细工艺国家重点实验室，北京 100084)

摘 要：碳化硅陶瓷材料具有优异的高温力学性能、热学性能以及化学稳定性，在化工、冶金、机械、能源、环保等工业领域以及半导体、光电子等现代科技领域得到了广泛应用。本文从SiC 晶体结构特征及粉体烧结特性入手，详细论述了碳化硅陶瓷的重要烧结工艺的研究进展，既包括主流的反应烧结、无压烧结、热压烧结、热等静压烧结，又包括最新发展起来的放电等离子烧结和振荡压力烧结技术，并着重介绍了各项烧结技术的烧结特性、烧结机理、材料与产品性能等方面，最后对碳化硅陶瓷材料的发展进行了展望。
关键词：碳化硅陶瓷；烧结技术；烧结机理；产品性能