查剑锐¹，陈 婷^{1, 2}，江伟辉^{1, 2}，刘健敏²，张筱君¹，胡 庆¹
（1.景德镇陶瓷大学材料科学与工程学院，江西 景德镇 333403；2.国家日用及建筑陶瓷工程中心，江西 景德镇 333001)

摘 要：采用酸催化溶胶-凝胶法于n型单晶硅基片表面制备出硅酸锆薄膜。运用XRD、SEM等分析测试手段对比了酸催化、回流和陈化三种不同凝胶化工艺对薄膜的相组成和显微形貌的影响。通过粘度-时间曲线观察了溶胶的稳定性并通过FT-IR研究了溶胶水解缩聚的过程。实验结果表明：相比酸催化和回流工艺，采用HNO₃调节pH值至1时，可以有效缓解正硅酸乙酯的快速水解缩聚，制备出均匀稳定的硅酸锆溶胶，经提拉镀膜、900 ℃煅烧0.5 h得到致密光滑的硅酸锆薄膜，能够有效防止NaOH强碱溶液对单晶硅片基底的腐蚀。
关键词：薄膜；硅酸锆；溶胶-凝胶法；pH值；抗腐蚀性