曾 涛¹，王 硕¹，冯诗乐¹，施 玮^{1, 2}，陈云霞^{1, 2}，苏小丽¹
(1.景德镇陶瓷大学，江西 景德镇 333403；2. 国家日用及建筑陶瓷工程技术研究中心，江西 景德镇 333001)

摘 要：以单丁基三氯化锡、氟化铵、无水甲醇、超纯水为原料制备反应热喷涂液，采用高温喷雾裂解工艺在玻璃基底上制备氟掺杂氧化锡(FTO)透明导电薄膜，研究了氟掺杂浓度对所制备FTO透明导电薄膜光、电性能的影响。研究结果表明，制备透明导电薄膜的最佳工艺参数为：基底温度500 ℃、掺杂浓度24 atom%、锡前体浓度0.5 M、喷涂次数60次及醇水比2 :1，对应的透明导电玻璃方块电阻Rsh=11.3 Ω/sqr，可见光区平均透光率Tave=77.80%，品质因数ФTC=7.2×10-3/Ω，评估指标均接近商品级别。
关键词：喷雾裂解；FTO；方块电阻；透光率；品质因数