董家乐¹，祝杰君²，燕 瑞³，郑娇玲⁴，陈玉萍⁵，高利苹⁶
(滁州学院 材料与化学工程学院，安徽 滁州 239000)

摘 要：采用水热法合成了In₂O₃多孔纳米片，研究了不同溶剂以及不同反应时间对材料形貌的影响，并探讨了纳米片的晶体生长机理。将In₂O₃多孔纳米片制备成旁热式半导体传感器，研究了甲醛气体的敏感性能。采用XRD、SEM对合成样品的物相和微观形貌进行了分析表征，研究结果表明，随着反应时间的增加，材料发生了相变，反应时间达到24h时，形成了多孔、尺寸约1μm、厚度约5nm的六方相片状产物。气敏性能研究表明，在加热温度为330℃时，传感器对50ppm甲醛的灵敏度达到8，响应时间和恢复时间分别为14s和5s，材料存在多孔结构，气体能够进行较快的吸脱附。该传感器可检测到最低浓度为1ppm的甲醛，且其对1-100ppm甲醛具有良好的线性关系。
关键词：In₂O₃多孔纳米片；生长机理；甲醛；气敏性能