吴建文1，汪 涛1，苏乾民1，杨长安2，张钦峰2
（1. 四川工程职业技术学院 建筑系，四川 德阳 618000；2. 陕西科技大学 材料科学与工程学院，陕西 西安 710021)
摘 要：以CdCl2和Na2S2O3混合溶液为电解液，采用电沉积法在ITO导电玻璃基片上制备了CdS纳米薄膜。讨论了沉积电压、热处理等工艺因素对薄膜的影响。分别采用X射线衍射仪(XRD)，电子色散能谱仪(EDS)、扫描电子显微镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)分析了硫化镉薄膜的物相结构和表面形貌。结果表明制备的硫化镉薄膜热处理前为非晶相，热处理后的硫化镉薄膜出现六方纤锌矿CdS相。沉积电压非常重要，小于4.0 V时，制备的硫化镉薄膜由六方纤锌矿CdS相和六方相金属Cd组成。
关键词：电沉积；硫化镉；薄膜