辛 凤，张效华，胡跃辉，陈义川

（景德镇陶瓷学院机械电子工程学院，江西 景德镇 333403）

摘 要：伴随电子信息技术的爆炸性发展，微电子与固体电子技术发展也日新月异，从而促进了薄膜材料在不同领域的广泛应用。反之，高性能薄膜材料的出现也直接促进信息技术的飞跃。电子元器件的发展趋势呈现高速运行，微型与轻薄化，可靠性高，高度集成等趋势，同时与微电子工艺兼容。薄膜材料正好满足多层布线与高度集成等工艺要求。本文综合介绍功能薄膜的制备方法以及优缺点对比。同时也简要介绍了薄膜材料的种类，研究进展以及可能的用途。

关键词：功能薄膜材料；薄膜技术；制备方法；表面处理