周健儿1，冯勇2，肖卓豪3
（景德镇陶瓷学院材料科学与工程学院，江西景德镇333403）
摘要：以多晶硅线切割废料为主要原料、添加适量碳化硅粉，经1420℃真空烧制获得了碳化硅陶瓷材料。研究了碳化硅粉加入量对碳化硅陶瓷制品体积密度、气孔率和抗折强度等性能的影响。研究结果表明：随碳化硅粉添加量的增加，材料的气孔率逐渐增大、体积密度和抗折强度则呈现先增大后变小的趋势；当碳化硅粉的加入量为10wt%时，试样的体积密度达到最大值2.25g/cm3，抗折强度达到最大值99.8 MPa。
关键词：碳化硅陶瓷；多晶硅废料；气孔率；抗折强度