邓娟利¹，范尚武²，成来飞³，张立同2⁴

(1.长安大学材料学院，陕西西安710064；2.西北工业大学超高温结构复合材料重点实验室，陕西西安710072)

摘要:将硅粉冷等静压成型，通过反应烧结得到氮化硅陶瓷，研究了成型压力对反应烧结氮化硅（RBSN）陶瓷性能的影响。结果表明，当成型压力从100MPa 增加到300MPa，反应烧结氮化增重率逐渐下降，从60.25%降到47.31%；而残余硅含量随着增加，从10%增加到29%；RBSN 开气孔率随着成型压力的增大而减小，开气孔率从20.50%降到13.81%。成型压力小于等于200MPa 时，RBSN 的密度和强度随成型压力的增大而增大；成型压力大于200MPa 时，RBSN 的密度随成型压力的增大而减小，强度随成型压力的增大变化不大，变化约为5%；在200MPa 时，RBSN 的密度达到最大值2.52 g/cm3。冷等静压成型RBSN 由晶须状α- Si3N4，柱状β- Si3N4和残余硅组成。

关键词:冷等静压成型；压力；反应烧结氮化硅；性能