尚福亮1, 张忠健2, 杨海涛3
(1.深圳大学材料学院，深圳市特种功能材料重点实验室，广东深圳518060；2.株洲硬质合金集团有限公司，湖南株洲412000）
摘要:采用常压固相烧结工艺，制备出高纯度、高致密度的氧化钨靶材。考察了粉体粒度、成型压强、烧结温度和保温时间等对靶材致密度的影响。测试结果表明，以粒度0.27μm 的粉体为原料，成型压强为60MPa, 烧结温度为1200℃，保温时间为1h 的条件下，可以制备出高致密度的氧化钨靶材，其组成为高纯的单斜晶相。
关键词:靶材；WO3；常压烧结；致密