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多孔低介电氧化硅陶瓷材料的制备

付振生 金江

(南京工业大学材料科学与工程学院,江苏南京210009)

摘要:采用氧化硅为原料,木屑作为造孔剂制备了多孔的氧化硅陶瓷材料。借助于气孔率测试、抗弯强度测试、介电性能测试和SEM测试手段分析了造孔剂和烧结助剂的添加量对材料性能的影响。结果表明:加入BN 作为添加剂烧成的氧化硅抗弯强度最大可达到14.80MPa。加入木屑作为造孔剂制备的陶瓷可以形成明显的气孔,气孔率最高可达到48 .40%,介电常数最低可以达到3.0。

关键词:多孔材料;低介电常数;氧化硅陶瓷;木屑


  • DOI: 10.13957/j.cnki.tcxb.2011.03.017

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