王红勤1 ,杨修春1 ,蒋丹宇2
(1.同济大学材料科学与工程学院,上海200092;2.中国科学院上海硅酸盐研究所,上海200050)
摘要:本文主要综述了两种类型的半导体电阻型气体传感器,表面控制型气体传感器和体控制型气体传感器,主要讲述了这两类氧传感器的原理,结构特性,制备,应用。综合了国内外研究概况,展望了以后的研究动向。
关键词:氧传感器;电阻型半导体气体传感器;表面控制型;体控制型