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电阻型半导体气体传感器的概况

王红勤1 ,杨修春1 ,蒋丹宇2

(1.同济大学材料科学与工程学院,上海200092;2.中国科学院上海硅酸盐研究所,上海200050)

摘要:本文主要综述了两种类型的半导体电阻型气体传感器,表面控制型气体传感器和体控制型气体传感器,主要讲述了这两类氧传感器的原理,结构特性,制备,应用。综合了国内外研究概况,展望了以后的研究动向。

关键词:氧传感器;电阻型半导体气体传感器;表面控制型;体控制型


  • DOI: 10.13957/j.cnki.tcxb.2011.04.004

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