付兴华^1,2 傅正义¹ 丁碧妍² 单连伟² 韦其红² 侯文萍²

(1武汉理工大学材料复合新技术国家重点实验室，430070;2济南大学材料学院，250022)

摘要：本文采用HPAgilent4294A阻抗分析仪、SEM、XRD、TEM等测试方法研究了不同Sr/Ba比对Sr_1-xBa_xTiO₃(SBT)薄膜结构与性 能的影响。在同一测试频率下，当Sr/Ba比为0.5时，薄膜的相对介电常数ε_r最大，介质损耗tanδ相对较小，最大ε_r温度点Tm为305K；在所测试的频率范围内,ε_r随频率的升高而降低，tanδ则相反，表现出较好的频散特性。薄膜的矿物相为四方钙铁矿结 构。Sr/Ba比为0.5时，薄膜表面无裂纹，孔洞少，颗粒集聚较少，其平均粒径均为80nm，分布均匀；晶格条纹间距约为2.96A，晶界两侧的晶粒取向是随机的。

关键词：Sr/Ba比，SBT薄膜，介电性能，结构特征，最大ε_r温度点