刘学建， 张俊计， 孙兴伟， 蒲锡鹏， 黄莉萍
( 中国科学院上海硅酸盐研究所)
摘 要：对于高性能高可靠性集成电路来说, 表面钝化已成为不可缺少的工艺措施之一。本文分析了目前应用最广泛的几种无机表面钝化膜( SiO2 、Al2O3 和Si3N4) 的特点, 并指出氮化硅薄膜是半导体集成电路中最具应用前景的表面钝化材料, 发展低温的热化学气相沉积( CVD) 工艺来沉积氮化硅表面钝化膜是集成电路发展的必然趋势, 而开发新的能满足低温沉积氮化硅薄膜的硅源、氮源前驱体是解决这一难题的有效方法, 并对这些前驱体物质的设计原则进行了阐述。
关键词：集成电路, 表面钝化, 薄膜, 氮化硅, CVD, 有机前驱体