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溶胶一凝胶法制备SrBizTa20,(SBT)铁电薄膜的研究

王文 周玉 贾德昌 叶枫

(哈尔滨工业大学)

摘要：以乙醇钽、醋酸锶和硝酸氧铋为原材料,乙二醇单甲醚为溶剂,可以获得稳定的SBT溶胶和凝胶。采用P/T/Si02/Si基片,通过溶胶-凝胶法 在800℃经快速热处理制备出钙钛矿相SBT薄膜。XRD结果分析表明,薄膜的择优取向为(115)和(008),其饱和极化强度和剩余极化强度分别为Ps= 8.8pC/cm2 , Pr= 5.2rpC/cm2。

关键词：溶胶一凝胶,SrBi2Ta209,铁电薄膜


  • DOI: 10.13957/j.cnki.tcxb.2001.04.008

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