张其土

( 南京化工大学)

摘要：研究了Si₃N₄陶瓷材料的氧化行为, 同时探讨了通过表面处理使Si₃N₄陶瓷材料表面形成一层Si₂N₂O对其抗氧化性能的影响。实验结果表明, Si₃N₄陶瓷材料在空气中的氧化行为服从抛物线规律。另外, 用X射线衍射分析( XRD) 和X光电子能谱( XPS) 分析验证了Si₂N₂O层的存在。由于形成了Si₂N₂O层, Si₃N₄陶瓷材料在1300℃下氧化100h后, 氧化增重从原来的0.42mg/cm²降低到0.24mg/cm², 其抗氧化性能有了明显的提高。同时, 表面处理后Si₃N₄陶瓷材料的强度也有一定的提高, 其中室温强度从原来的621MPa提高到662MPa 。

关键词：氮化硅, 氧氮化硅, 表面处理, 氧化, 强度