曹春娥，加藤诚轨，水谷帷恭（日本东京工业大学无机材料工学科）
摘 要：在莫来石质基片中加入镁系添加剂，对各温度下烧成的试样进行了相组成、相对含量、显微结构的分析与观察，并对密度、气孔率、收缩率、热膨胀系数、介电常数、抗折强度等性能进行了测定。结果表明：镁系添加剂对染来石质基片的烧结是十分有效的；无论何种添加剂，反应中间产物只有堇青石；最后所得烧结体的显微结构是斜方柱状的震来石在玻璃相基质中作无序分布，它作为大规模集成电路用基片材料具有良好的性能。关键词：莫来石质基片；集成电路