胡飞,   陈远相,   熊玮

(景德镇陶瓷学院材料科学与工程学院，景德镇：333001)

摘要:采用低温液相薄膜制备工艺-- 连续离子层吸附反应(SILAR)法，在玻璃衬底上制备了纳米Cu2O 薄膜，考察了工艺参数对薄膜质量和薄膜表面形貌的影响，对薄膜的生长速率与反应溶液浓度、反应温度以及循环次数的关系进行了研究和分析。结果表明，采用连续离子层吸附反应(SILAR)法有利于制备高质量的纳米Cu2O 薄膜，连续离子层吸附反应(SILAR)法可以有效去掉疏松的离子,每次循环吸附反应都能使紧密吸附的离子转化成致密的纳米Cu2O 薄膜，这样既有利于纳米Cu2O 颗粒的生成,同时减少了污染和降低了成本。试验表明，制备纳米Cu2O 薄膜的最佳反应温度为70℃, 最佳反应溶液浓度均为1 mol/L，纳米Cu2O 薄膜的膜厚随着循环次数的增加而增加，循环40 次可制得厚度为0.38μm 的薄膜。经XRD 和SEM 测试，所制备的薄膜纯度高, 表面平整且致密，Cu2O 颗粒大小约为100 nm。

关键词:连续离子层吸附反应法，氧化亚铜薄膜，纳米颗粒