陈 婷1,2，任玉磊1，査剑锐1，江伟辉1,2，江 莞2，谢志翔1
(1. 景德镇陶瓷大学，江西 景德镇 333403；2. 国家日用及建筑陶瓷工程技术研究中心，江西 景德镇 333001)
摘 要：以乙酸锆为锆源，正硅酸乙酯(TEOS)为硅源，乙酰丙酮(Hacac)和氟化锂(LiF)分别为螯合剂和矿化剂，通过溶胶-凝胶法制备了硅酸锆薄膜。采用X 射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)系统研究了热处理温度、保温时间和升温速度对于硅酸锆薄膜的合成和形貌的影响。实验结果表明：500 ℃之前样品热失重较大，约为40.57%，因此慢升温速度(0.5-1.0 ℃·min-1)有利于有机物的排出，可以避免薄膜表面开裂；由于硅酸锆薄膜具有二维传质的特性，纯相硅酸锆薄膜的热处理温度需达到900 ℃；随着保温时间的延长(0.5-3 h)，薄膜的结晶度不断提高；AFM 测试结果说明制备的硅酸锆薄膜表面光滑平整。
关键词：薄膜；溶胶-凝胶法；硅酸锆；热处理