王丽娟¹，邢鹏飞²，庄艳歆¹，金 星¹，徐宏利²

(1. 东北大学 材料电磁过程研究教育部重点实验室，辽宁 沈阳 110000；2. 东北大学 冶金学院，辽宁 沈阳

110000)

摘 要：氮化硅（Si3N4）因具有耐高温、耐磨损、耐腐蚀、抗热震、抗氧化等优良性能，广泛应用于热交换器轴承、高温组件、发动机和燃气轮机等。氮化硅的制备方式有多种，目前工业大规模生产氮化硅最常用的是硅粉直接氮化。氮化硅具有α 和β 两种晶型，其中：α-Si3N4 是低温亚稳定相；β-Si3N4 是高温稳定相。因为α 相和β 相Si3N4 以独立的机理形成，它们有各自的形成阶段和动力学定律。所以，此过程中温度、时间、添加剂等变量，会对α 相和β 相的含量造成不同程度的影响。该文献总结分析了硅粉直接氮化中各种变量对α-Si3N4 和β-Si3N4 形成机理的影响，并对其未来的研究方向进行了展望。

关键词：硅粉直接氮化；氮化温度；Si3N4 稀释剂；金属催化剂；氧化物添加剂