李 镔¹，张伟儒^2,3，韦中华¹，王子诚²，陈 波²

(1. 北京中材人工晶体研究院有限公司，北京 100018；2. 中材高新氮化物陶瓷有限公司，山东 淄博 255000；

3. 中材高新材料股份有限公司，北京 100102)

摘 要：首次采用中压注塑成型技术(MPIM)制得性能优良的氮化硅轴承球。研究了粘结剂配方、注塑成型、低缺陷排胶、气氛压力烧结等工艺参数对氮化硅轴承球致密度、力学性能、表面与微观形貌的影响。结果表明，喂料固含量55.51 %、注塑速率5 cm/s、注塑温度90 ℃、注塑实际压力75 bar、超临界CO2 萃取+热脱脂两步法排胶等工艺过程有效控制了氮化硅坯体的缺陷，制得了生坯致密度58.7 %、烧结密度3.26 g/cm3、烧结致密度99.4 %、抗弯强度843 MPa、无缺陷的氮化硅轴承球。MPIM 是未来注塑成型技术发展的重点方向，具有广泛的应用前景。

关键词：中压注塑成型技术；氮化硅轴承球；低缺陷排胶；致密度；力学性能