童义平，赖秀红，黄秀娟

(惠州学院化工系，广东惠州516007)

摘要：以ZnO 和Al₂O₃为原料, 采用冷压成型-高温烧结致密的方法制备超高致密度的AZO 靶材。通过实验优化得到的最佳制备AZO 靶材的工艺参数是：WAl₂O₃为2%、锻压压力11MPa、高温烧结温度1200℃，烧结时间5 小时,按此条件, 制备的AZO 靶材相对密度最大(96.63%)。其次是: WAl₂O₃为4%、锻压压力13MPa、高温烧结温度1300℃、烧结时间2 小时, 得到的AZO 靶材相对密度96.04%。

关键词：氧化锌铝；靶材；AZO；透明导电薄膜；致密化