张园吴敏

(三峡大学机械与材料学院，宜昌：443002)

摘要：采用溶胶- 凝胶法在Pt/TiO₂/SiO₂/Si衬底上制备了多种不同组分的(Pb_0.3Sr_0.7)1-xKxTiO₃(PST) (x=0，1mol%，2.5mol%，5mol%)多层均匀薄膜，并研究了它们的介电调谐性能。发现掺杂后薄膜的相结构没有发生变化，晶粒尺寸明显减小, 介电常数降低及介电损耗减小。1MHz时，随K含量从0增加至5mol%，薄膜的介电常数从841降低至539，而介电损耗由0.134减小到0.0576，其微波介电综合性能改善。

关键词：钛酸锶铅，K⁺掺杂，薄膜，Sol-Gel，介电调谐