刘文广¹,张玲¹,刘莹²
 （1.景德镇陶瓷学院机电工程学院 333001； 2.南昌大学机电工程学院 330029 ） 

摘  要：在微机电系统（MEMS）中应用到了许多种材料,其中,使用最多的是陶瓷材料。本文分析了当前国内外在MEMS研究中的陶瓷材料的应用现状。着重分析了在MEMS中硅作为结构材料的应用以及作为薄膜材料的应用,此外,还介绍了其它 一些在MEMS中常见的陶瓷材料,如碳化硅、氮化硅、PZT压电陶瓷等材料的性能和应用。
关键词：微机电系统，陶瓷材料，薄膜