宫华¹,黄晖²,汪敏强²,刘开平¹
(1.长安大学材料工程系，西安 710054; 2.西安交通大学电子陶瓷与器件教育部重点实验室 710049)

摘  要：采用静电雾化沉积技术制备了PbTiO3薄膜,探索了沉积温度和沉积时间对所制备薄膜的结构和形貌的影响。通过调节制备工艺,制备了多孔和致密的PbTiO3薄膜。测试了所制备钛酸铅薄膜的介电频率特性,在100kHz的介电常数和介电损耗分别为222和0.0247。
关键词:静电雾化沉积,钛酸铅,铁电薄膜