余京松,马青松,葛曼珍,杨辉,江仲华
（1.浙江大学材料系，‚杭州 310002；2.浙江大学硅材料国家重点实验室）

摘  要：氮化硅薄膜是一种重要的精细陶瓷薄膜材料，具有优秀的光电性能、钝化性能、稳定性能和机械性能，在微电子、光电和材料表面改性等领域有着广阔的应用前景。本文综述了几种制备氮化硅薄膜的方法。
关键词：氮化硅，薄膜，制备