杨凤娟^{1, 2}，林圳鑫²，吴玉萍³，钟海英²，张春红^{1, 2}，张文华²

(1. 厦门工学院 柔性制造装备集成福建省高校重点实验室，福建 厦门 361021；2. 厦门工学院 机械电气与信息工程学院，福建 厦门 361021；3. 福建理工大学 材料科学与工程学院，福建 福州 350108)

摘  要：压电厚膜在微型传感器、执行器及微机电系统(MEMS)中具有重要应用价值。通过固相法制备了陶瓷粉体，再采用丝网印刷法制备Pb(Zr, Ti)O₃压电厚膜，研究了二次球磨时间(8 h～32 h)对陶瓷粉体粒径分布及厚膜压电性能的影响，并对比分析了Al₂O₃和304不锈钢两种衬底上厚膜的阻抗响应与极化行为。研究结果表明，当球磨时间为8 h时，厚膜压电常数d₃₃达到最大值；Al₂O₃衬底上厚膜的体系总电阻高于不锈钢衬底，有利于抑制漏电流、获得更优的极化效果。本研究明确了球磨时间与衬底类型对厚膜性能的影响规律，为丝网印刷PZT压电厚膜的工艺优化及衬底选择提供了实验依据。

关键词：丝网印刷；锆钛酸铅；压电厚膜；球磨时间；衬底类型