付少剑^{1, 2, 3}，叶 滨²，邱桂兰²，曾 涛^{2, 3, 4}，施 玮^{2, 4}，王立富^{2, 3}，陈云霞^{2, 4}，刘志伟¹

(1. 西安交通大学，陕西 西安 710049；2. 景德镇陶瓷大学，江西 景德镇 333403；3. 上饶捷泰新能源科技有限公司，江西 上饶 334100；4. 景德镇市环境陶瓷重点实验室，江西 景德镇 333403)

摘 要：减反膜应用可降低气—固界面的菲涅尔反射，是提升光电转换效率晶硅太阳电池的有效手段之一。以商业化双面PERC 单晶硅太阳电池(尺寸：182 mm×182 mm)为研究对象，以SiO_xN_y(1)/SiN_x(3)作为电池正面减反膜改善入射光子利用率。与传统SiN_x(4)减反膜相比，SiO_xN_y(1)/SiN_x(3)减反膜可显著降低300 nm～500 nm 波段内光子反射率，短波段光子减反效果尤为明显。对应电池在标准测试条件下(AM1.5, 1000 w·m⁻², 25 ℃)所测定平均光电转换效率可达23.227%，高于传统减反膜的电池效率(23.128%)。根据SERIS-V1.5软件对QE谱积分电流损失分析结果表明：基于SiO_xN_y(1)/SiN_x(3) 减反膜电池电流损失相对采用传统SiN_x(4) 减反膜电池， 反射部分造成的电流损耗可降至0.867 mA·cm⁻²，且其他电学性能参数如开路电压及填充均得到一定程度改善，但并不实质影响电池背面效率。此外，基于SiO_xN_y(1)/SiN_x(3)减反膜电池规模生产终端EL 测试良率与传统减反层电池相当，有望实现规模化生产。

关键词：双面PERC；太阳电池；减反膜；电流损失